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發(fā)布時間：2021-10-19 09:44
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政策扶持
為促進(jìn)我國光刻膠產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，國家02重大專項(xiàng)給予了大力支持。今年5月，02重大專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室組織任務(wù)驗(yàn)收組、財(cái)務(wù)驗(yàn)收組通過了“極紫外光刻膠材料與實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)研究”項(xiàng)目的任務(wù)驗(yàn)收和財(cái)務(wù)驗(yàn)收。
據(jù)悉，經(jīng)過項(xiàng)目組全體成員的努力攻關(guān)，完成了EUV光刻膠關(guān)鍵材料的設(shè)計(jì)、制備和合成工藝研究、配方組成和光刻膠制備、實(shí)驗(yàn)室光刻膠性能的初步評價裝備的研發(fā)，達(dá)到了任務(wù)書中規(guī)定的材料和裝備的考核指標(biāo)。曝光時間，由光源強(qiáng)度，光刻膠種類，厚度等決定，另外，為降低駐波效應(yīng)影響，可在曝光后需進(jìn)行烘焙，稱為光后烘焙（PEB）。項(xiàng)目共申請發(fā)明15項(xiàng)（包括國際5項(xiàng)），截止到目前，共獲得授權(quán)10項(xiàng)（包括國際授權(quán)3項(xiàng)）。
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光刻膠編碼 HS編碼: |
3707100001 [類注] | [章注] | [子目注釋] |
| 中文描述: | 不含銀的感光乳液劑 （CIQ碼：301:液體） |
| 英文描述: | Non--0--silver light-sensitive emulsion agent |
| 申報(bào)要素: | 0.品牌類型；1.出口享惠情況；2.用途；顯影之后，NR9-3000PY展現(xiàn)出一種倒梯形側(cè)壁，這可以方便地作單純的LIFT-OFF處理。3.包裝；4.成分；5.是否含銀；6.品牌；7.型號；8.是否有感光作用（以下要素僅上海海關(guān)要求）9.GTIN；10.CAS |
| 申報(bào)要素舉例: | / 1.感光劑；2.用途:感光材料，用于噴墨制版機(jī)；3.包裝:瓶裝；4.成分:重氮樹脂94%以上；5.無品牌；6.無型號 |
| 單位: | 千克 |
NR77-20000PMSDS
光刻膠運(yùn)輸標(biāo)識及注意事項(xiàng)
標(biāo)簽上標(biāo)明的意思
R標(biāo)識
R10 YI燃。
S標(biāo)識
S16 遠(yuǎn)離火源-禁止吸煙。
S 24 避免接觸皮膚。
S 33對靜電放電采取預(yù)防措施。
S 9 將容器保持在通風(fēng)良好的地方。
水生毒性
通過自然環(huán)境中的化學(xué)、光化學(xué)和微生物降解來分解。一般不通過水解降解。300 ppm對水生生物是安全的。鹵化反應(yīng)可能發(fā)生在水環(huán)境中。
