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    高純供氣系統(tǒng)價(jià)格服務(wù)為先 北京艾明坷

    發(fā)布時(shí)間:2020-12-21 19:24  

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    實(shí)驗(yàn)室氣體的危險(xiǎn)性

    1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會(huì)對(duì)工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;

    2.多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用,如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏,就可能對(duì)工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;

    3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對(duì)人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。

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    實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路

    實(shí)驗(yàn)室供氣管路系統(tǒng)工程主要是為試實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)氣體,保證其儲(chǔ)存和使用的安全性。保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。按照國標(biāo)要求,將所用全部氣體存放于儲(chǔ)氣間,并實(shí)現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。最1小可檢漏率:是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測(cè)出來的最1小漏率。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式,在一拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制;并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿足分析檢測(cè)設(shè)備對(duì)使用氣體的技術(shù)要求。

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    指氣瓶至儀器終端之間連接管線,一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成,輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

    使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動(dòng)調(diào)節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈,使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

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    高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

    隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高,對(duì)氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格,需要達(dá)到ppb、ppt級(jí),塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對(duì)高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。3、閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

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