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氦質譜檢漏的優越性

氦質譜檢漏法是根據質譜分析的原理， 以氦作示蹤氣體， 對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。

由于氦是惰性氣體， 對大氣無污染， 使用比較安全； 而且氦的原子量小、粘度小， 容易滲透過任何可能存在的漏隙， 因此檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣； 另外氦在大氣中含量少(僅萬分之五) ， 離子質量與其它氣體離子質量相差很大，檢漏儀哪里有， 不易受干擾， 錯判幾率小。所以， 與其它諸多檢漏方法比， 氦質譜檢漏具有的優越性。

隨著科學技術的不斷發展， 檢漏應用技術在不斷地更新， 氦質譜檢漏技術也在不斷擴展到更廣闊的領域當中。為提高產品合格率和生產效率， 不應一味沿用的古老且落后的手段處理泄漏問題。

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氦質譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統的關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。秀長的體積，優越的性能，適用于眾多行業。運用了氦質譜和逆擴散原理，采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術，實現了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換，具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。

氦質譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和響應周期非常短，可以達到2s以內；

2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預設壓力，抽空時，達不到預設值，檢漏儀自動報警提示。

5.多種計量單位選擇，檢測數據實時更新，直接輸出生成Excel表格。

氦檢漏設備工作原理

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根據氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準確的判斷工件的泄露情況。

技術參數

真空箱數量: 根據實際需要

真空箱容積: 根據實際需要

示漏氦氣壓力:根據實際需要

耐壓試驗壓力:根據實際需要

檢漏生產節拍:根據實際需要

氦氣回收率: ≧98%

基本功能

操作者把工件放在真空箱內，將工件接口與真空箱內的快速接頭進行連接，在真空箱門關閉后，系統能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。

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