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真空機組對機組的要求

超高真空抽氣機組超高真空抽氣機組工作在10-5~10-10Pa的超高真空壓力范圍內,除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經受200~450℃高溫烘烤外,對機組的要求還有:

(1)主泵的極限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。

(2)在超高真空的工作壓力范圍內主泵應具有一定的抽速。

(3)機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200~450℃的高溫烘烤。

(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力足夠低。

(5)對被抽氣體選擇性強的主泵,要配備足夠大的輔助泵。

(6)機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件,對材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封材料,以耐高溫烘烤。

真空機組工藝簡介

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的中心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構中心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵中心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。2）真空機組零部件由于形狀因素等，其銳邊、尖角可能對人身造成的刺傷或扎傷危險。

真空機組風險分析，使用真空機組需要注意什么？

（1）容器炸裂

真空機組未配備排氣壓力監控裝置或壓力調節閥，可能導致機組內壓力過高導致容器炸裂的事故發生。

（2）機械傷害、物體打擊

1）真空機組工作過程中其運動部件，對人身可能造成擠壓、纏繞、引入或卷入、沖擊等危險。

2）真空機組零部件由于形狀因素等，其銳邊、尖角可能對人身造成的刺傷或扎傷危險。

3）真空機組零部件在使用過程中，由于松動、脫落或折斷、碎裂、甩出等可能造成的沖擊、拋射危險。