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真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

以下是科創(chuàng)真空為您一起分享的內容，銳誠真空公司專業(yè)生產銷售氦檢漏設備，歡迎新老客戶蒞臨。

機械系統(tǒng)主要由以下四個單元構成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質制造，其內表面在加工后經拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設定的時間內對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)機械系統(tǒng)部分的氦檢漏單元，氦質譜檢漏儀采用進口產品，自動校準漏孔。技術成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調緊密。

氦氣檢漏設備的特點和優(yōu)點

說到氦氣檢漏設備的特點，首先，我們還需要注意核心部件分子泵，使用原裝進口的檢漏儀專用的分子泵。美國AD放大器用于有效降低氦氣檢漏設備的噪聲并提高氦氣檢漏設備的靈敏度。 180度非均勻磁場質譜儀設計用于聚焦和高靈敏度。

氦氣檢漏設備的檢漏口具有較高的耐壓性，檢漏率范圍廣，可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。 離子源燈絲采用氧化釔銥金絲，壽命長，靈敏度高。 獨特的三屏切換，信息替換更豐富，檢漏更方便； 它具有快速氦氣清洗功能和快速響應功能。

氦氣檢漏設備可實現(xiàn)一鍵歸零； 采用全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現(xiàn)智能自動化，操作更方便，簡單可靠； 中英文菜單，菜單可以一鍵實現(xiàn)，實際使用效果突出。

半導體設備及材料需要檢漏原因

1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；

2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；

3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。

4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。

氦質譜檢漏儀

充氦法

充氦法也稱負壓法 ，一個密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個氣室，開始關閉氦氣罐閥門，機械泵把氣室先抽成真空，然后關閉真空泵閥門，打開氦氣罐閥門給氣室充氦，并靜置一段時間。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內部。然后將氣室打開，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。再把這些器件逐個(或成組) 地裝入接在檢漏儀進氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開節(jié)流閥，這時原先進入被檢器件的氦又會經過漏孔放出來，檢漏儀就會給出漏率響應。