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有更高的凈化率，能夠達到98%以上，而且也不會出現二次污染。

因為有催化劑，催化燃燒法的起燃溫度十分的低，通常在200到400攝氏度，可以有效的降低能耗并且降低NOx的生成。

預熱式是催化燃燒的*基本的流程形式，其基本原理見圖1。有機廢氣溫度在100℃以下、濃度也較低時，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫。通常采用煤氣或電加熱將廢氣升溫至催化反應所需的起燃溫度；燃燒凈化后的氣體在熱交換器內與未處理的廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。