FE-大塚電子公司-FE3000

FE3000反射式膜厚量測儀原理為：利用單色儀和氙燈的組合可實現任意波段的激發光并以此來照射熒光材料樣品，再以光譜儀對產生的發光光譜進行測試并對其熒光材料特性做出評價。本系統采用了具有高靈敏度、高穩定的本公司的光譜儀對光譜進行測量。

關于冷卻水的更換沒有特定的時間要求，FE3000設備，可目視，發現水有污垢時請更換冷卻水。更換時請用自來水或是軟水（不可使用純水，如使用純水，會和空氣中的CO2結合形成酸性環境，從而導致冷卻裝置內部遭到腐蝕）。

應用范圍■ FPD

?LCD、TFT、OLED(有機EL)

■ 半導體、復合半導體

?矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料

■ 資料儲存

?DVD、磁頭薄膜、磁性材料

■ 光學材料

?濾光片、抗反射膜

■ 平面顯示器

?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED

■ 薄膜

?AR膜

■ 其它

?建筑用材料

量測范圍玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質分析

熒光材料樣品所反射的激發光，在積分球內壁上反射，FE，并再次照射到熒光材料樣品上，發出熒光的現象叫做再激發。為了修正這個熒光發光的成份，FE-3000，如圖所示，改變Xe激發光（投光用光纖）的角度，將激發光的照射點改為樣品口的硫i酸鋇（或Spectralon）一面來進行測試。這樣可以將對積分球內壁上漫反射引起的再激發熒光成份進行測試，實行修正。

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