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用途：

可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝，也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高，且不易i燃燒，另外，六氟化硫還用于各種加su器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸的絕緣介質。在微電子業中，可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物，并可在光導纖維的制造過程中，作為單膜光纖隔離層摻雜劑。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高，且不易i燃燒，另外，六氟化硫還用于各種加su器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸的絕緣介質。目前六氟化硫是應用較為廣泛的測定大氣污染的示蹤劑，示蹤距離可達100km。六氟化硫化學穩定性好，對設備不腐蝕，在冷凍工業中可作為冷凍劑(操作溫度在-45～0℃之間)，作制冷劑替代氟利昂，對臭氧層完全沒有破i壞作用，符合環保和使用性能的要求，是一種很有發展潛力的制冷劑。用作電氣絕緣介質和滅弧劑，測定大氣污染程度的示蹤劑。

充裝六氟化硫氣體嚴禁水分進入

（1）工作未開始之前，首先應測定現場周圍環境空氣相對濕度≤80％（即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值），這是限制空氣含水具體示數。測定如不合格，則應采取措施或重選干燥晴朗的天氣進行充裝。

 （2）為使SF6泄漏氣體及時排換，主尖在進行充裝的同時開啟通風機，認真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規定。六氟化硫防護是保護工作人員的必備措施，不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設備還是穿著六氟化硫防護服都屬于六氟化硫防護的內容。在工作開始后的一定時間內即應進行檢測，并具體情況于中途再進行檢側。當出現SF6氣體含量增i高或超過標準時，應隨即對部件進行詳細檢查，查找原因并予以消除。

高純六氟化硫的應用

 六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年，國家大力發展基礎電力行業，給六氟化硫廠家帶來了很大的市場機遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導體工業中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。

 該技術在大幅降低液晶產品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據權i威機構預測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右，

 國內使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產線有近50條，在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。1、直接合成法經凈化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反應生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內高純六氟化硫產品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業提供更多的發展機遇。