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發布時間：2020-12-28 17:38
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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。
質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：
1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。
2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。
3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。
4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。
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高壓開關檢漏——氦質譜檢漏儀
高壓電器行業提出的《生產63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產品符合技術條件和安全性。高壓開關設備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質，產品要求開關內部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏，高壓電器采用的氦質譜檢漏儀的氦質譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認同。
鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發生泄漏和誤檢，使總裝后的產品氣密性達不到要求，導致返工，不但浪費了人力物力，也耽擱了生產周期。由于采用了氦質譜檢漏儀彌補了傳統檢漏的不做，同時可以檢漏漏點和漏率。
氦質譜檢漏儀的檢漏方法根據被檢工件的情況而定的：
1.對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦，同時觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。
2.對于體積較大的工件，采用背壓發，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統抽至5Pa以下，關掉抽氣閥，打開檢漏閥，進行檢漏。漏率超過值即為不合格。
3.對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數值超過規定值即為有漏。
安徽諾益科技有限公司是一家專業從事氦質譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統的研發、生產及銷售為一體的專業型高科技企業。自成立以來嚴格執行產品國際標準、及行業標準，應用現代經營理念與管理手段，擁有強大的技術支持和先進的生產與檢測設備，精心制造出穩定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產品。
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氦質譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求
氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統的關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。秀長的體積，優越的性能，適用于眾多行業。運用了氦質譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術，實現了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。
氦質譜檢漏儀特點：
1.檢測時間和響應周期非常短，可以達到2s以內；
2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；
3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；
4.大漏檢測功能：可通過預設壓力，抽空時，達不到預設值，檢漏儀自動報警提示。
5.多種計量單位選擇，檢測數據實時更新，直接輸出生成Excel表格。
質譜法基本原理
質譜,又稱質譜法（mass spectrometry,MS），是通過不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉化為運動的氣態離子，并按照質荷比（m/z）大小進行分離檢測的分析方法，是一種與光譜并列的譜學方法。根據質譜圖上峰的位置和相對強度大小，質譜可對無機物、有機物和生物大分子進行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發明質譜，并運用于發現非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。Thomson JJ于1906年發明質譜，并運用于發現非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應用，是質譜更好的運用于生物化學大分子。90年代以來，隨著電噴霧電離和基質輔助激光解吸電離的應用，已形成生物質譜學一新學科[1]。目前，質譜法已經日益廣泛的應用于原子能、化學、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業生產部門，農業科學研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質學、有機化學等科學技術領域[2]。
質譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經加速電場的作用獲得動能形成離子束；進入質量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運動軌跡的差異，將不同質荷比的離子按空間位置或時間的不同而分離開；然后到達離子將離子流轉變為電信號，得到質譜圖。
質譜儀基本結構，化合物的質譜是由質譜儀測得的。質譜儀是使分析試樣離子化并按質荷比大小進行分離、檢測和記錄的儀器。一般質譜儀由進樣系統，離子源，質量分析儀，離子及信號放大記錄系統組成
