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發布時間：2020-12-22 09:55
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潔凈廠房無塵室測試目的是什么呢?其中很大部分業主都是根據凈化工程開始的設想來完成測試的指標，當然這是直截了當的目標及方法，畢竟我們在建設無塵室的意愿也是如此，要達到我們的空氣潔凈度有需求。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。在單流向型無塵室，風速測量的位置可由業主預定，一般是在濾網表面或是工作高度。但是需注明是濾網風速測量（濾網表面）或是無塵室室內風速測量（工作高度）。潔凈廠房，無塵室，潔凈室--潔凈廠房無塵室測試目的。
無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。洗滌衣置放場所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
影響無塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部分的氣流將流至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質部分則采用與潔凈衣相同材質即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示）無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在潔凈室內進行，并以純水配合清潔溶劑，并經約0.2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區為2～3天，其他區域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。洗滌衣置放場所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用。2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區為2～3天，其他區域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。
