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    中山石墨零件銷售價格行情「石金科技」

    發布時間:2021-09-04 13:24  

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    石墨舟推舟系統:石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式,即將石墨舟放到反應管內部后,石墨舟推舟機構將退出,自動門關上。載片舟是經特殊設計,在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調,再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關,所以推舟系統是本設備的核心部件。 管式PECVD系統:即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。




    石墨棒功率的調整方式,建議通過調整電壓的方式來調整功率。推薦石墨棒的調壓方式選擇可控硅調壓或調壓器調壓。一般不采用通過改變周波數的調功器的方式來調整。

    一般情況下,石墨棒表面負荷密度是由爐內溫度和石墨棒表面溫度的關系求得,建議使用石墨棒較大表面負荷密度1/2-1/3數值的功率。給石墨棒加的電流量越大,石墨棒的表面溫度越高。建議使用盡量小的表面負荷密度(功率)。


    請注意石墨棒冷端記載的數值為空氣中1050℃ -50℃范圍測得的電流、電壓,與實際使用不一定相符。

    連續使用石墨棒時,希望緩速增加電壓以維持長壽命。

    石墨棒盡可能并聯。如果石墨棒阻值不同,串聯時電阻高的石墨棒負荷集中,導致某一個石墨棒電阻快速增加,壽命變短。

    同時需加強電阻值的配組,即同一組棒的電阻值盡量接近。一般地,并聯時同組棒電阻值偏差在10%—15%以內,串聯時同組棒電阻值偏差在5%—10%以內。爐溫越高,要求的阻值偏差也應越小。


    對于這樣一家企業生產的石墨坩堝、熔銅石墨坩堝等等其他石墨坩堝型號,有人會問,這樣的石墨坩堝價格是不是很高呢?我會告訴你:不,甚至比一些企業還要便宜的,沒錯,這是真的。東莞捷誠石墨坩堝廠生產的石墨坩堝型號全部按照國家規定的石墨坩堝標準生產,因為東莞捷誠坩堝廠能了解客戶的需求,如果達不到石墨坩堝的標準,可能會使客戶造成巨大損失,就無形當中損失了客戶。


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