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進口檢漏儀維修

超小型氣動單元檢漏儀為實現結構盡可能緊湊，裝配帶有標準流量閥的氣動單元，可測試高達5L的體積。基于閥門的堅固穩定性無需定期保養，從而為客戶節約更多成本。由于結構緊湊，只使用了必要的簡化菜單，但是T6990檢漏儀的程序及參數編輯仍很方便。快速的傳感器反應，符合人體工程學的手動探頭，的檢漏儀。檢漏儀使用經濟的合成氣或氦氣進行累積泄漏測試。非常靈敏，可以檢測到10-5mbar?l/s范圍內的泄漏。

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使用5年以上時，有可能會存在密封失效的問題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊。均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零自動校準和自動量程切換。

通過分批次給定指令的方式，對程序執行情況進行檢查，如果仍然故障發生，則表明為編碼器存在問題。伺服器維修人員采取更換全新編碼器的方式對其進行處理，同時需要增設抗干擾措施。偏離指令數值故障則主要集中在電動機過載和驅動裝置故障等方面。通過調整零速電位計的方式對參數值進行重新設定。在伺服器參數進行了重新設定后觀察有無改善故障，如果故障沒有能得到改善，則可以判定故障類型為外界干擾故障。針對這一故障情況

檢漏儀需要做哪些日常的維護工作

復合分子泵潤滑

此維護過程每6個月進行一次。潤滑脂注入器上帶有一個黑色夾子和一個紅色夾子， 這些夾子是用來確定注入軸承的油脂用量的。

（1） 潤滑前端軸承。將注入器插入螺釘孔，直到無法插入為止，按注入器手柄直到其在夾子的紅色標記處停止。

（2） 潤滑后端軸承。將紅色夾子取下，把油脂（紅色夾子寬度） 分別均勻地注入兩個注入孔（ 兩個對稱的通孔） 中。

（3） 讓軸承中潤滑脂分布均勻。將分子泵電源板CD2 上的開關SW1 扳向“ R”位置，開機讓泵運轉約10min，然后關機。再將開關扳向“ N”位置。改變SW1 的位置時，均要求在不帶電的情況下進行。