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    發布時間:2020-07-28 17:32  

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    多線切割機

    近年來,由于國家的重視,將極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題列入國家重大科技專項,另外,國內有關設備制造企業也看到了這個巨大的商機,大力投入人力物力開展艱苦的研制開發,先以模仿為主,逐漸轉向自主創新,研制出有自身知識產權的多線切割機。但樹脂金剛石線的工藝復雜,目前主要依靠進口,其成本較高,因此還得不到廣泛的應用。

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    國內半導體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設備。加工表面粗糙,浪費材料,金剛石帶鋸價格也不菲。

    實際上,應該使用金剛石線鋸機切割加工,能得到更高的質量。

    元素環形金剛石線切割機的主要性能:

    1. 切割晶體尺寸:  300*300 mm

    2. 切割線線速度: 小于60 m/s

    3. 工作臺進給速度:  500 mm/s

    4. 晶片表面粗糙度:    Ra≤ 0.2μm



    金鋼線切割專用設備

    目前,行業內硅片生產企業進行金鋼線切割技術升級改造的方案主要有兩種:

    1,,即在現有的傳統砂漿線設備基礎上,通過對設備內部軟硬件進行升級改造,從而滿足金鋼線切割工藝。

    2.改造方案是直接采購金鋼線切割專用設備。

    基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異,金剛線切割對切片機的設備提出了更高的要求。因此現有的主流砂漿線切割設備在不進行改造的前提下,不能使用金剛線切割。



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