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    脈沖激光沉積設備廠家咨詢客服 沈陽鵬程公司

    發布時間:2021-01-11 14:53  

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    脈沖激光沉積細節介紹

    很多復雜氧化物薄膜在相對高的氧氣壓力(>100 Torr)下冷卻是有利的。所有Pioneer 系統設計的工作壓力范圍。從它們的額定初始壓力到大氣壓力。這也有益于納米粒子的生成。

    Pioneer PLD 系統的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時避免使用復雜而昂貴的光學部件。淺的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點,導致密度均勻性的損失。

    為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵流體,消除油的回流對薄膜質量的影響,所有Pioneer 系統的標準配置都采用無油真空系統。

    我們的研究表明靶和基片的距離是獲得較佳薄膜質量的關鍵參數。Pioneer 系統采用可變的靶和基片的距離,對沉積條件進行較大的控制。

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    常規沉積條件下的組合合成

    脈沖激光沉積系統特點及優勢:

    可根據客戶需求定制產品,靈活性高,并提供專業的技術支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關手續, 交貨期短,性價比高;

    沈陽鵬程真空技術有限責任公司擁有先進的技術,我們都以質量為本,信譽高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業務。如果您對脈沖激光沉積感興趣,歡迎點擊左右兩側的在線客服,或撥打咨詢電話。



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