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負壓潔凈室設計問題a

　負壓潔凈室設計問題

a) 平面布局

安全生產過程與生產工藝和廠房的平面布局密切相關。合理的平面布置和嚴格的區域劃分既能防止交叉污 染，又能方便生產操作。所以，有毒區域和無毒區域相互 聯系又各自獨立，決不允許交叉污染。整個潔凈生產廠房 的設計應嚴格按照生產工藝流程走向，盡量減少生產過程的迂回、往返和交叉。合理的平面布局和人、物流走 向在能有效控制交叉污染的風險前提下，也能使空調系統 設計更科學，污染控制功能更簡化，并能降低造價和運行 費用，且相應管理制度更容易被執行。

變頻排風機組的保護措施

c) 變頻排風機

排風機組是形成負壓的關鍵因素，在選擇上不僅要考慮其排風量和風機全壓，還要考慮其隔離的能力。目前，有兩種形式的保護措施。一是在排風管上安裝“袋進袋出” 過濾風管段，二是采用內置了 F8 中效過濾器和 H14 過 濾器組的排風機組。按規范要求，還必須能對過濾器進行檢漏檢測。考慮到節能、風量和潔凈室壓差的恒定問題， 排風機組內好采用變頻控制的電機。如有條件，排風機 組還可設計成兩套排風機組“一用一備”，供電采用雙回 路供電并增加不間斷電源進行保護，且空調自控系統要對排風機組的開啟、關停、切換等設置合理的控制程序。

電子凈化車間對靜電要求極其嚴格

潔凈度等級要求高,風量、 溫度、 濕度、 壓差、 設備排風按需受控,照度、 凈化車間截面風速按設計或規范受控， 另外該類凈化車間對靜電要求極其嚴格。 其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電， 造成 CMOS 集成損壞。 一般來說， 電子凈化車間的溫度應控制在 22℃左右， 相對濕度控制在 50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。 這時可有效地消除靜電， 并使人也感覺舒適。 芯片生產車間、 集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業凈化車間的重要組成部分， 由于電子產品在制造、 生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格， 主要以控制微粒和浮塵為主要對象， 同時還對其環境的溫濕度、 新鮮空氣量、 噪聲等作出了嚴格的規定。