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    浙江正壓氦質譜真空檢漏儀報價歡迎來電「華誠浩達」

    發布時間:2021-10-16 03:33  

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    氦質譜檢漏儀的真空系統

    氦質譜檢漏儀真空系統一般包括:

    1、主泵:一般用護散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa,其抽速應導氣載匹配。

    2、前級真空泵:一般采用旋片式機械真空泵,在以分子泵為主泵的系統中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa,抽速導主泵匹配。

    3、預抽真空泵:一般與前級真空泵共用一個泵,也有預抽真空泵的。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預抽真空泵大都由用戶自配。

    4、冷阱:分子泵型真空系統一般不加冷阱。護散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間,使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室,保持質譜室的清潔,并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。







    氦質譜檢漏儀工作原理

    氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計,用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送人到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。






    氦質譜檢漏儀的優勢

    科技信息化不斷更新迭代的市場,氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現階段的一個需求,而且對檢漏儀提出新要求的情況下,檢漏儀設備不得不更新,另一方面每個行業的不足都在進步的過程,缺陷與不足相互補充,相互促進。而現在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形,在性能和領域上都有新的突破。

    氦質譜檢漏儀進展集中體現如下方面:

    1.智能化:以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助,而現在的觸屏式,自動檢測。

    2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。

    3.自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節0點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成全檢漏過程。

    4.全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

    5.檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。






    氦質譜檢漏儀的環境條件

    氦質譜檢漏儀是現在比較常用的儀器,今天華誠浩達的小編就和大家來說一下,氦質譜檢漏儀的使用環境條件有哪些,希望對您有所幫助!

    校準環境溫度為(23 ± 5) ℃ ,校準過程中室溫變化不超過± 1℃ ,環境相對濕度不大于80% 。

    校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。

    環境溫度較好控制在23℃ 附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環境溫度一般為23℃ 。




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