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    新疆半導體氦檢漏設備常用指南「在線咨詢」

    發布時間:2021-09-25 21:36  

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    視頻作者:北京科創鼎新真空技術有限公司






    氦氣檢漏的基本功能(部分功能可選配)

    1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗;

    2、對被檢工件抽真空;

    3、對被檢工件充注氦氣;

    4、真空箱法氦質譜檢測,自動判斷工件漏率合格與不合格;

    5、回收并循環使用氦氣;

    6、如果氦氣浪費嚴重,可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純

    7、PLC控制,觸摸屏操作,自動檢測。

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    真空檢漏技術

    真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術,相應的儀器稱為檢漏儀。充電10分鐘續航480公里鋰電池快充技術獲得突破想要了解更多產品的相關信息,歡迎撥打圖片上的熱線電話。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置,以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。

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    氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

    氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器;真空系統-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以-定能量注入質分析器,目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率

    真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。在回收時,利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機,并壓縮至某一較高的壓力。按照真空系統的不同結構,檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比,被檢件只與低真空相通,因

    此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

    機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環境,干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。







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