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    發(fā)布時間:2020-12-11 08:30  

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    生長室,進(jìn)樣室可選水平、垂直兩種靶臺可選激光加熱和輻射加熱兩種樣品臺可選,激光加熱高的溫度1200℃工藝氣路可以任意搭配配備高壓RHEED,工作氣壓可達(dá)100Pa可預(yù)留法蘭,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可選項如臭氧發(fā)生器,離子源,掩膜系統(tǒng)等。主要用途:用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。



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