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發(fā)布時(shí)間：2020-12-20 13:16
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氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)
1，獨(dú)特的氣路設(shè)計(jì)，提高了對(duì)氦的抽速，縮短了清氦本底時(shí)間，有效防止氦污染。2，檢漏口配備：定制精密過(guò)濾裝置，可有效避免雜物顆粒或銅粉進(jìn)入儀器內(nèi)部。3，多模式功能輸入、輸出，輕松連接各種自動(dòng)化設(shè)備。4，機(jī)械與電路有效分開，避免了溫度、電磁場(chǎng)等彼此干擾，使檢漏儀運(yùn)行更加穩(wěn)定、可靠。5，可檢漏率低，靈敏度高，檢測(cè)量程達(dá)到11級(jí)。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是什么？
檢漏儀主要的目的是檢查一個(gè)真空腔體各個(gè)密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個(gè)密封腔體內(nèi)充滿氦氣，用質(zhì)譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測(cè)，如果密封存在問(wèn)題，則有氦氣泄漏，被質(zhì)譜儀檢測(cè)到。質(zhì)譜檢漏儀是一種簡(jiǎn)易的質(zhì)譜儀，對(duì)分辨率和檢測(cè)的質(zhì)量范圍要求很低，但對(duì)靈敏度要求較高。其實(shí)各個(gè)種類的質(zhì)譜儀都可用來(lái)作為檢漏質(zhì)譜儀。
氦質(zhì)譜檢漏的原理
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí)，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出，泄漏出來(lái)的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號(hào)值。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對(duì)的方法就可以獲得漏孔對(duì)氦泄漏量。
