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發布時間：2020-11-11 10:08
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潔凈檢測項目有哪些
氣流流型
a)垂直氣流試驗
煙霧位于前窗內側150mm，高度為300mm處從一側壁板移動到另一側壁板操作區內，潔凈工作臺的垂直下降氣流在均流板下部均呈現下降模式，無向上氣流。
煙霧位于前窗內側操作區1/2深度，高度為300mm處從一側壁板移動到另一側壁板操作區內，潔凈工作臺的垂直下降氣流在均流板下部均呈現下降模式，無向上氣流。
煙霧距操作區后側壁板150mm，高度為300mm處從一側壁板移動到另一側壁板操作區內，潔凈工作臺的垂直下降氣流在均流板下部均呈現下降模式，無向上氣流。
b)水平氣流試驗
煙霧位于前窗內側操作區1/2深度，高度為300mm處從一側壁板移動到另一側壁板操作區內，潔凈工作臺的水平氣流在散流孔前側均呈現向外模式，無向內氣流。
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檢測方法介紹
潔凈室各項目檢測方法總結
過濾器檢漏
一、說明
過濾網的泄漏測試應當是無塵室測試中，復雜、耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認：
1. 濾網的材料無破損，
2. 安裝恰當。
濾網出廠前當然要經過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是
FFU 系統，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會產生問題。因此，邊框掃描一樣重要。
濾網泄漏測試基本上是利用濾網上游的顆粒，然后在濾網下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。
測試方式有：
1. 氣膠光度計測試法， 2. 微粒計數器測試法， 3. 外氣測試法。后兩種現在使用非常少。
潔凈檢測項目介紹
光照度測試
一、測前準備
潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成
測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，并已連續運轉24小時以上。 潔凈室環境需清潔完成
二、測試目的
此檢測動作在于確認無塵室照明系統是否有達到設計要求。
三、測試儀器
專業照度儀
四、測試步驟
無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點亮2小時以上。
確認測試點及配置圖編號。
將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數值穩定后量測10秒記錄。
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