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氦質譜檢漏儀的校準方法

氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業、核工業、電子行業、真空行業、電力行業、航空航天等行業。根據其工作原理和技術性能指標，通過實驗，總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。

氦質譜檢漏儀原理:

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據不

氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統和電氣部分等組成。

氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

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氦氣檢漏儀的工作原理是什么？

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子，分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；2Mpa的干燥、潔凈、無油的氣體，在換熱器表面的焊縫處刷一定濃度的肥皂水，如果存在泄漏點，會連續形成肥皂泡或者肥皂泡被吹飛。打在收集器上，收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。

氦質譜檢漏的成本控制

氦質譜檢漏相對于其他的檢漏方法，因使用抽真空機組及高純氦氣其經濟成本居高不下。筆者在生產制造檢測中摸索出一整套減少檢測費用的方法，使氦質譜檢漏具備了在板翅式換熱器生產中大規模使用的可能。

檢漏口真空度的控制

根據NB/T 47006 鋁制板翅式熱交換器中A.5 氦質譜檢漏和JB/T 7261 鋁制板翅式熱換器中漏率要求，檢漏口真空度一般要求為：1.33Pa。

在設計圖樣及供貨合同中對檢漏口真空度有明確要求的，按照其要求的檢漏口真空度進行檢測;如果沒有要求，根據大量的檢測經驗，將檢漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa，這樣的一個檢漏口真空度并沒有降低檢測的準確性，但其抽真空所需的電費能減少20%-50%。或使用濃度不低于5~10%的氦氣混合氣體，使用完后，可直接向大氣中排放，要注意周圍環境中的氦氣的濃度，注意周圍環境中空氣的流動情況，因為這會影響到吸槍法的檢測精度。

檢漏儀的故障和處理

1 內部的泄漏

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩定

1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀應有可靠的接地。

3）本底信號不穩定，檢查泵油是否渾濁，被污染。