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    發(fā)布時(shí)間:2020-12-25 11:51  

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    執(zhí)行自查程序,啟動(dòng)雙面9B雙面拋光機(jī),時(shí)長90s,內(nèi)齒圈轉(zhuǎn)速15rpm,外齒圈轉(zhuǎn)速10rpm,下拋光盤轉(zhuǎn)速10rpm,查看環(huán)氧樹脂游星輪和雙拋片自旋狀況;


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    玻璃冷加工行業(yè)的拋光俗稱研磨,平磨,曲拋(雙面拋,單面拋,掃邊,拋光)是指用氧化拋光粉或者拋光液流射在高速玻璃拋光機(jī)工作面(拋光用地毯,或者毛刷,劍麻,絞絲,拋光革,聚氨酯拋光革)等材料面上。高速旋轉(zhuǎn)摩察使其玻璃表面光亮的過程。



    在研磨晶圓背面的過程中,會(huì)先在晶圓的功能面上覆蓋一層保護(hù)膠帶(BG tape),以避免在研磨晶圓背面過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)造成晶圓功能面污染,以及避免晶圓功能直接與研磨設(shè)備(如用于固定晶圓的吸盤)直接接觸而造成晶圓功能面受損,進(jìn)而降低形成的芯片質(zhì)量。高效率的雙端面研磨機(jī),在磨削加工過程中需要上下兩個(gè)大研磨盤轉(zhuǎn)動(dòng)并且加工工件在游星輪的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng),研磨盤的直徑在600-1000mm直徑,加工工件一般是多件,所以很難實(shí)現(xiàn)主動(dòng)測量的功能。


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