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什么是流量控制器？

質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。④質量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質量的穩(wěn)壓電源，對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經常檢查等，以保證度及儀表的安全。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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質量流量計工作原理

質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有-個電磁調節(jié)閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成-個閉環(huán)系統(tǒng)，用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC 提供。

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質量流量控制器主要參數(shù)

質量流量精度： ±0.002×流量±零點漂移

密度測量精度： ±0.003g／cm3

密度測量范圍： 0.5~1.5g／cm3

溫度測量范圍： ±1°C

傳感器相關數(shù)據(jù)：

環(huán)境溫度： －40~60°C

介質溫度： －50~200°C

防爆類型： iBⅡBT3

關聯(lián)設備： 配套變送器

(3) 變送器相關數(shù)據(jù)：

工作溫度： 0~60°C

相對濕度： 95%以下

電 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W

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流量控制器

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。如果不特殊聲明,MFC都采用氟橡膠密封,可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,例如可以用于鹵族干燥氣體。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。