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    發(fā)布時(shí)間:2020-12-31 04:55  

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    ZEISS RDS-D動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座,可選配光學(xué)與接觸式測(cè)頭系統(tǒng)。

    采用側(cè)面旋轉(zhuǎn)技術(shù)的動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座于兩個(gè)方向均可實(shí)現(xiàn)±180°旋轉(zhuǎn),步距角2.5°,

    空間旋轉(zhuǎn)位置可達(dá)20736個(gè)。采用CAA技術(shù),極大的節(jié)約了探針校準(zhǔn)與檢測(cè)時(shí)間。

    適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點(diǎn)觸測(cè)式測(cè)頭系統(tǒng)。掃描測(cè)量率達(dá)150點(diǎn)/秒

    使用TL3模塊時(shí),探針長度 = 30-150 mm;長加長桿 = 100 mm;

    大探針重量 = 15 g;小探針直徑 = 0.3 mm.








    1) 配置TL3模塊的驗(yàn)收測(cè)試:使用探針長度50mm,探針直徑3mm。

    2) 測(cè)量長度L 單位為mm,測(cè)量時(shí)RDS角度位置A=0°,B=0°。

    3) 使用光學(xué)測(cè)頭需接觸式測(cè)頭校準(zhǔn) (例如 ZEISS VAST XXT)。

    4) 基于ZEISS ViScan x 1倍光學(xué)鏡頭。

    5) 激光等級(jí)2M:未使用光學(xué)儀器(例如放大鏡、鏡頭元件、望遠(yuǎn)鏡)進(jìn)行光束聚焦,短時(shí)間(0.25秒)內(nèi)暴露于光譜范圍內(nèi)的可見激光光束睛無害。

    6) 探測(cè)誤差測(cè)試位于測(cè)量范圍中央并基于啞光球(直徑30mm)進(jìn)行。依據(jù)ISO 10360-8 P[Form.Sph.D95%:Tr:ODS]。

    7) 適用于 12/18/8, 12/18/10, 12/24/8 及 12/24/10。

    8) 圓度測(cè)量中掃描速度為5mm/s,濾波為50 UPR。




    ZEISS DotScan

    測(cè)量范圍 1 mm 2)

    配備共聚焦白光測(cè)距傳感器,適用于ZEISS RDS-DCAA

    掃描測(cè)量速率高達(dá)1000點(diǎn)/秒。

    工作距離:10,5mm ,分辨率28nm

    可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

    測(cè)量范圍 3 mm 2)

    工作距離:21,5mm ,分辨率36nm,

    可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm




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