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發(fā)布時間：2021-08-26 14:48
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SDG吸附劑是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 是一種良的吸附劑, 每克活性炭的吸附面積更相當(dāng)于八個網(wǎng)球埸之多. 而其吸附作用是藉由物理性吸附力與化學(xué)性吸附力達(dá)成. 其組成物質(zhì)除了炭元素外，尚含有少量的氫、氮、氧及灰份，其結(jié)構(gòu)則為炭形成六環(huán)物堆積而成。 由于六環(huán)炭的不規(guī)則排列，造成了活性炭多微孔體積及高表面積的特性。SDG吸附劑是一種比表面積較大的固體顆粒狀無機(jī)物，當(dāng)被凈化氣體中的酸氣擴(kuò)散運(yùn)動到達(dá)SDG吸附劑表面吸附力場時，便被固定在其表面上,然后與其中活性成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成一種新的中性鹽物質(zhì)而存儲于SDG吸附劑結(jié)構(gòu)中。SDG吸附劑對酸氣的凈化是一個多功能的綜合作用，除了一般的物理吸附外，還有化學(xué)吸附，粒子吸附，催化作用，化學(xué)反應(yīng)等。
SDG吸附劑能吸附有機(jī)氣體嗎？不可以的，SDG吸附劑，本質(zhì)是堿性材料混合物，和酸氣是酸堿中和反應(yīng)，和有機(jī)物不反應(yīng)，所以基本沒有效果的。
半導(dǎo)體制造或許排放的特別毒性氣體品種很多，如所排放的AsH3、PH3、SiH4、B2H6、SiH2Cl2，CL2，HF，PH3，NH3,HBr，F(xiàn)2,HCL,COS等等，都是含有特別毒性的風(fēng)險氣體。針對此類的廢氣處理需掌握各單元所排放的廢氣特性，串聯(lián)多種不同型式的廢氣處理設(shè)備和吸附劑。現(xiàn)在常使用于處理半導(dǎo)體制程中特別毒性氣體處理的處理技術(shù)，一般能夠分為四種，干式吸收或吸附法、濕式洗滌法等。其間各種吸附劑的合作使用為現(xiàn)在半導(dǎo)體職業(yè)的干流處理技能。
