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    發(fā)布時(shí)間:2020-11-15 11:41  

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    電解蝕刻機(jī)

    電蝕刻是利用金屬在以自來(lái)水或鹽水為蝕刻主體的液體中發(fā)生陽(yáng)極溶解的原理,(電解的作用下)將金屬進(jìn)行蝕刻,接通蝕刻電源,從而達(dá)到蝕刻的目的。市售的電解蝕刻機(jī)都是手動(dòng)噴淋式的,并且都是以鹽水為蝕刻溶液,功率有大小二種,優(yōu)點(diǎn):無(wú)污染,但只有蝕刻一個(gè)步驟無(wú)污染是不行的,其他工序也必須無(wú)污染,適合實(shí)驗(yàn)生產(chǎn)、凹字小面積蝕刻。主要用做研究實(shí)驗(yàn)機(jī),或者簡(jiǎn)單的在金屬上蝕刻標(biāo)記,也稱為電打標(biāo)。缺點(diǎn):蝕刻面不均勻,大面積腐蝕速度慢,不能用于量產(chǎn),也不能做凸字大面積蝕刻,不能用做標(biāo)牌的大批量生產(chǎn)加工。由于電解蝕刻是在金屬導(dǎo)電的情況下形成蝕刻的,那么我們的產(chǎn)品在蝕刻下去有任何的深度時(shí)側(cè)面也將被蝕刻的,這樣很多精細(xì)圖案,精細(xì)文字將被蝕刻”爛“掉。




    光刻技術(shù),重頭戲是物理技術(shù),光刻的前道工序如涂膠,后道如顯影,都是化學(xué)技術(shù),對(duì)機(jī)器要求不算高。唯獨(dú)曝光工序才是難的,其中難又在于光刻機(jī),也就是一只巨型單反相機(jī),其光源和鏡頭,還有控制技術(shù)估計(jì)已經(jīng)是人類的極限了,巨難做。刻蝕說(shuō)得形象點(diǎn)就是沿著曝光圖形刻槽,化學(xué)成分比較大,并不算十分關(guān)鍵的設(shè)備,我朝的刻蝕機(jī)技術(shù)還是很不錯(cuò)的。






    光刻機(jī)和刻蝕機(jī)的區(qū)別:

    刻蝕相對(duì)光刻要容易。光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒(méi)有圖案)的部分,留下剩余的部分。

    “光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對(duì)晶圓進(jìn)行一定時(shí)間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。

    “刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對(duì)晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。






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