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催化燃燒法：把廢氣加熱經催化燃燒轉化成無害無臭的二氧化碳和水；本法起燃溫度低、節能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資較大，適用于高溫或高濃度的有機廢氣。一切工業廢氣處理設備功用不是全部都行的，處理廢氣的針對性極強。因而，有些廢氣中含有顆粒物、鹵素廢氣、重金屬等化合物，對工業廢氣處理設備均有攪擾，乃至損壞處理效果。采用的吸附型活性炭在工業方面的應用主要涉及為尾氣吸附和有害氣體吸附，大多采用的為柱狀活性炭，其中木質柱狀活性炭吸附效果較好，被廣泛采用，逐漸取代了舊有的煤質活性炭吸附的方式。

吸附-催化燃燒法具有運行、投資減省、運行成本降低、維修方便等特點，適用于大風量、低濃度的廢氣治理，是國內治理有機廢氣較成熟、實用的方法。熱力燃燒法：使用蓄熱式熱力氧化爐RTO進行有機廢氣處理，可以達到的雙重效果。適合治理有機廢氣的范圍廣，處理。在有機廢氣治理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附治理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。

廢氣治理設備普遍應用在化工廠、電子廠、噴漆廠、汽車廠、涂料廠、石油化工行業、家具廠、食品廠、橡膠廠、塑膠廠等行業。直接燃燒法：利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒，將混合氣體加熱，使有害物質在高溫作用下分解為無害物質；本法工藝簡單、投資小，適用于高濃度、小風量的廢氣，但對安全技術、操作要求較高。有機廢氣治理是指對工業生產過程中產生的有機廢氣進行吸附、過濾、凈化的治理工作。

廢氣處理設備惰性氣體雖然沒有危險性，但大量惰性氣體集聚，會使周圍氧含量減少，從而使人窒息。在室外適當的地方排放。助燃氣體的治理：將黏著在容器閥門上或使用器具上的粉末、石油類、油脂類及可燃性物質，底清除干凈后，方可進行助燃氣的處理。廢氣治理設備普遍應用在化工廠、電子廠、噴漆廠、汽車廠、涂料廠、石油化工行業、家具廠、食品廠、橡膠廠、塑膠廠等行業。