半導體手套箱信賴推薦

手套箱功能

1、密閉循環：真空手套箱和氣體凈化系統構成一個密閉的循環系統，由氣體凈化系統提供氣體循環動力。

2、人機對話：配置彩色觸摸屏，中文界面，實現人機對話，操作便捷

3、自動控制（由彩色觸摸屏的人機界面和PLC程序控制系統集成對系統進行控制）

實現功能：手/自動控制箱體壓力；

手/自動控制氣體凈化系統的凈化狀態；

自動控制氣體凈化系統的還原過程；

手/自動凈化系統還原、凈化及轉換凈化柱（配置雙凈化柱時）；

自動箱體氣氛報警；

箱體內氣氛和壓力參數設置和手/自動轉換；

氣體凈化系統自動控制功能的參數設置；

查閱系統歷史紀錄；

氣體凈化系統執行機構工況檢測；

程序控制系統的操作錯誤和警告提示

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手套箱的日常維護保養

1.注意：通電后，若有無法啟動的問題，一種可能性是因為真空泵電源線連接松動，另一種原因是真空泵自身的開關未開啟。

2.要樣品放入手套箱時，盡量使用小過渡艙，打開過渡艙門前需先注意閥門腔上的壓力表指針是否在零的位置。若是，則可直接打開；若否，則需先將閥門腔下的開關轉至“填充”的位置，使氣體進入手套箱過渡艙內，再將開關轉回中間位置，此時可以打開過渡艙門將樣品放入，再將艙門關上。放置樣品時，需小心不要用手觸摸過渡艙內壁，請佩戴手套取放樣品。辦法：①檢查壓力設置是否正確、壓力傳感器是否異常，箱體真空閥或補1氣閥是否損壞，壓力回復正常后，再開啟分析儀和循環。

手套箱常見故障及解決辦法

1、循環和分析儀同時關掉

原因：①箱內壓力瞬間過高，超過 12mbar，系統自動保護；②電壓不穩，造成系統保護。

辦法：①檢查壓力設置是否正確、壓力傳感器是否異常，箱體真空閥或補1氣閥是否損壞，壓力回復正常后，再開啟分析儀和循環。②檢查真空泵是否壞掉，無法運行。

2、大、小倉無法補1氣

原因：①手套箱內通往大小倉的氣孔可能被塑料薄膜等堵塞；②電磁閥是否沒有打開。

辦法：①根據管路走向，確定氣孔位置，疏通管路；②檢查線路及電磁閥。

3、大小倉無法抽氣

原因：①大小倉內抽氣孔被塑料薄膜等堵塞或艙門漏氣；②倉門沒關緊，或是大小倉密封圈松動。

辦法：①根據管路走向，確定氣孔位置，疏通管路；②關緊倉門，檢查大小密封圈；③檢查工作氣壓是否過低（因為大倉抽氣閥是氣動閥）。