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吸收法:利用吸收液與廢氣接觸，將廢氣中的有害物質溶解在吸收液中，凈化廢氣。吸收液另行處理。優點:投資小，運行費用低，操作簡單。缺點:處理效率低，不穩定，凈化效率低，約50%，難以滿足相關環境保護要求，適用于低濃度有機廢氣，有二次污染。(6)凝結法:通過凝結冷卻，溫度低于有害物質的凝結點時，氣體有害物質轉化為液體，從空氣中分離凈化。優點:運行穩定，凈化。缺點:投資大，對環境和操作人員要求高，能耗過大，運行費用高。

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溶劑適用行業應建立VOCs溶劑管理會計和管理設施管理會計，定期更新。其中溶劑管理蓋章每月記錄使用涂料、稀釋劑、固化劑、洗滌劑等原輔料的名稱、制造商、型號、購買量和使用量等資料。常見的大行業VOCs生產廢棄來源和特點，VOCs一廠方案編制參考本文總結了電子行業、制藥行業、涂料制造、油墨制造、粘合劑制造、木材加工、家具制造、交通運輸設備制造、皮革制造、鞋行業

由于半導體技術對操作室的清潔度要求極高，通常使用鼓風機技術中揮發的各種廢氣，因此半導體行業的廢氣排出具有排出量大、排出濃度小的特點。這些廢氣排放主要分為酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體4種。酸堿廢氣主要來自擴散、CVD、CMP、蝕刻等工序，這些工序用酸堿清洗液清洗晶片。目前，半導體制造技術中常用的清洗溶劑是和硫酸混合劑。這些工序產生的廢氣包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、、磷酸等揮發氣，堿性氣體為氨。