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微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較

微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較 采用半導(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比，微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩(wěn)定性好。同時，微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成，增加溫度補償精度，大幅提高傳感器的溫度特性和測量精度。如果將2個微壓力傳感器集成，又可以實現(xiàn)靜壓補償，從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見，微壓力傳感器具有許多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的優(yōu)點，能夠很好地滿足石化行業(yè)對壓力傳感器的需求。 壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴(kuò)散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時，電導(dǎo)率是同性的，只有受定向應(yīng)力時才表現(xiàn)出各向異性，由于應(yīng)力能引起能帶的變化，能谷能量移動，導(dǎo)致電阻率的變化，于是就有電阻的變化，從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計制造壓力傳感器時可根據(jù)不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件，力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途，可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。

微熔式玻璃微熔技術(shù)的補償方式

玻璃微熔式 玻璃微熔技術(shù)由美國MSI公司于上個世紀(jì)90年代早期研發(fā)成功并開始批量生產(chǎn)。90年代中晚期被美國TI公司應(yīng)用于汽車工業(yè)。主要用于汽車EBD系統(tǒng)。近幾年開始應(yīng)用于缸內(nèi)直噴技術(shù)的發(fā)動機上。測量壓力范圍7Bar-700Bar。有良好的可批量生產(chǎn)性，硅應(yīng)變計的生產(chǎn)技術(shù)現(xiàn)為國外公司所掌握。國內(nèi)目前有公司已在研發(fā)和小批量生產(chǎn)，產(chǎn)品的可靠性有待確認(rèn)。也有少數(shù)公司開始生產(chǎn)微熔壓力傳感器。 半導(dǎo)體硅片的溫度特性比較差，通常大于10%FS/100度，必須進(jìn)行溫度補償，補償方式通常有模擬補償和數(shù)字補償兩種方式。

壓力傳感器應(yīng)用安全控制系統(tǒng)

壓力傳感器應(yīng)用安全控制系統(tǒng) 壓力傳感器在安全控制系統(tǒng)中，通過在出氣口的管道設(shè)備中安裝壓力傳感器來在一定程度上控制壓縮機帶來的壓力，這算是一定的保護(hù)措施，也是非常有效的控制系統(tǒng)。當(dāng)壓縮機正常啟動后，如果壓力值未達(dá)到上限，那么控制器就會打開進(jìn)氣口通過調(diào)整來使得設(shè)備達(dá)到功率。 ??在安全控制領(lǐng)域應(yīng)用一般從性能方面來考慮，從價格上的考慮，還有從實際操作的安全性方便性來考慮，實際證明選擇壓力傳感器的效果非常好。 ??壓力傳感器在安全控制系統(tǒng)中經(jīng)常應(yīng)用，主要針對的領(lǐng)域是空壓機自身的安全管理系統(tǒng)。在安全控制領(lǐng)域有很多傳感器應(yīng)用，壓力傳感器作為一種非常常見的傳感器，在安全控制系統(tǒng)中應(yīng)用也不足為奇。 ??壓力傳感器利用機械設(shè)備的加工技術(shù)將一些元件以及信號調(diào)節(jié)器等裝置安裝在一塊很小的芯片上面。所以體積小也是它的優(yōu)點之一，除此之外，價格便宜也是它的另一大優(yōu)點。在一定程度上它能夠提高系統(tǒng)測試的準(zhǔn)確度。