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    發(fā)布時(shí)間:2021-10-21 11:10  

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    真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前,該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

    該真空系統(tǒng)出廠時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進(jìn)行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。




    氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達(dá)到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類型:變?nèi)菡婵毡美帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋片式兩種:(1) 往復(fù)式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)式運(yùn)動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱為活塞式真空泵。



    動(dòng)量傳輸泵:這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇>唧w可分為下述幾種類型。(1) 分子真空泵:它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:① 牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量,被送到出口,因此,是一種動(dòng)量傳輸泵。②渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。③ 復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復(fù)合式分子真空泵。



    自動(dòng)化程度高:真空熱處理爐的自動(dòng)化程度之所以較高,是因?yàn)榻饘俟ぜ募訜帷⒗鋮s等操作,需要十幾個(gè)甚至幾十個(gè)動(dòng)作來完成。這些動(dòng)作內(nèi)在真空熱處理爐內(nèi)進(jìn)行,操作人員無法接近。同時(shí),有些動(dòng)作如加熱保溫結(jié)束后,金屬工件進(jìn)行淬火工序須六個(gè)動(dòng)作并且要在15秒鐘以內(nèi)完成。在這樣迅速的條件來完成許多動(dòng)作,是很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此,只有較高的自動(dòng)化才能準(zhǔn)確、及時(shí)按程序協(xié)調(diào)動(dòng)。


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