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氦檢漏設備簡介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過這些缺陷進入系統內部，致使系統、容器或器件達不到預期的真空度，這種現象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復雜，無法用幾何尺寸表示，因此在真空技術中用漏率來表示漏孔的大小。漏率是指單位時間內漏入系統的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。

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真空檢漏

漏率的大小需進行校準后方能確定。一般采用比較法，即將被檢漏孔與標準漏孔在檢漏儀上進行比較，就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣后，容器壓力不再變化，這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計，則平衡式變為puSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數)，要得到低的極限壓力便應降低漏氣量，檢漏便是關鍵的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側通向大氣側。漏孔一般很微小，實際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率(在規定的條件下氣體流過漏孔的流量)來表示。漏孔兩側存在著壓力差，即可利用氣體流動引起的效應來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置，一般盡可能縮小檢測的面積范圍，所以先側重于對零部件的檢漏。零部件經過嚴格的檢漏，組裝后就可避免漏氣。

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氦質譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現意外情況，系統突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發生了脆斷現象。

氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。