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發(fā)布時(shí)間：2021-10-12 12:58
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主動(dòng)式掃描與多點(diǎn)觸測式測頭系統(tǒng)
掃描測量率高達(dá)500點(diǎn)/秒。
數(shù)據(jù)采集測力可調(diào)(50-1000mN)
ZEISS VAST XT gold：探針：長度=500mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。
ZEISS VAST gold：探針：=800mm，重=600g（含吸盤），探針直徑=0.3mm。
ZEISS VAST XTR gold：探針：長度（固定）=500mm，長度（旋轉(zhuǎn)）=350mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。
ZEISS RDS-D動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測座，可選配光學(xué)與接觸式測頭系統(tǒng)。
采用側(cè)面旋轉(zhuǎn)技術(shù)的動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測座于兩個(gè)方向均可實(shí)現(xiàn)±180°旋轉(zhuǎn)，步距角2.5°，
空間旋轉(zhuǎn)位置可達(dá)20736個(gè)。采用CAA技術(shù)，極大的節(jié)約了探針校準(zhǔn)與檢測時(shí)間。
適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點(diǎn)觸測式測頭系統(tǒng)。掃描測量率達(dá)150點(diǎn)/秒
使用TL3模塊時(shí)，探針長度 = 30-150 mm；長加長桿 = 100 mm；
大探針重量 = 15 g；小探針直徑 = 0.3 mm.
ZEISS DotScan
測量范圍 1 mm 2)
配備共聚焦白光測距傳感器，適用于ZEISS RDS-DCAA
掃描測量速率高達(dá)1000點(diǎn)/秒。
工作距離：10,5mm ,分辨率28nm
可測量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm
測量范圍 3 mm 2)
工作距離：21,5mm ,分辨率36nm，
可測量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm
