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    激光脈沖沉積設(shè)備公司服務(wù)至上 沈陽鵬程真空技術(shù)公司

    發(fā)布時(shí)間:2020-12-31 11:07  

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    脈沖激光沉積系統(tǒng)特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

    可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術(shù)支持;靶臺(tái)可以安裝6個(gè)靶位,靶材更換靈活;樣品臺(tái)樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進(jìn)樣室可以存儲(chǔ)多個(gè)靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進(jìn)、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價(jià)比高;

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    脈沖激光沉積簡(jiǎn)介

    沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

    【設(shè)備主要用途】

    PLD450A型脈沖激光沉積設(shè)備采用PLD脈沖激光沉積技術(shù),用于制備高溫超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體膜、鐵電薄膜、硬質(zhì)薄膜以及微電子和光電子用多元氧化物薄膜及異質(zhì)結(jié),也可用于制備氮、碳、硅化合物及各種有機(jī)—無機(jī)復(fù)合材料薄膜及金剛石薄膜等。

    【設(shè)備優(yōu)點(diǎn)】

    設(shè)備全程采用一鍵式操作抽氣,關(guān)機(jī),程序自動(dòng)化定時(shí)操作。避免了繁瑣的角閥,插板閥人工開啟。

    【設(shè)備主要組成】

    設(shè)備由沉積腔室(單室球形或圓筒形)、樣品加熱轉(zhuǎn)臺(tái)、激光入射轉(zhuǎn)靶、激光窗、電源控制系統(tǒng)、激光束掃描系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制轉(zhuǎn)靶的旋轉(zhuǎn)、脈沖準(zhǔn)分子激光器等組成



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