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好的潔凈車間設計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。為減少空調(diào)系統(tǒng)和空調(diào)的漏風，采取相應的有效措施和方法，達到節(jié)能運行的目的。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。

進入無塵車間潔凈室凈化車間無菌車間有效更衣流程：

工作人員在更衣室的更衣、換鞋等行為應遵守一定的順序，否則會帶來交叉污染，起不到衛(wèi)生防范的效果。

規(guī)范的順序應為：

a.進車間 一更換鞋、一更更衣、二更洗手、二更更衣、戴帽、緩沖手消毒、手部消毒、清水沖洗、雙手風干、鞋底消毒進入車間。

b.出車間 二更更衣、一更更衣、換鞋、出更衣室。

通過這樣的操作程序，能減少污染物、病菌帶入車間的可能。

　改變安徽車間凈化要求的溫濕度基數(shù)：維持安徽車間凈化達到一定的溫、濕度需耗用相應的能量，提高要求的溫、濕度基礎可以節(jié)能能量，若空氣參數(shù)要求為22℃±2℃和35%-50%相對濕度，在夏季運行中，如果安徽車間凈化內(nèi)空氣溫度控制在23℃，相對濕度控制在60%，此時凈化空調(diào)系統(tǒng)機器露出點即可由12.2℃提高到16.5℃，如果系統(tǒng)處理風量按10000m3/H計，則運行中可節(jié)省處理空氣的冷量消耗為36.27kWH，全天按16H計，則可節(jié)省冷量580.3kw/d。2、GMP車間的清掃必須在上下班前、生產(chǎn)工藝操作結束后進行，并且要在凈化車間空調(diào)系統(tǒng)運行中進行，此外，清掃工作結束后，凈化空調(diào)系統(tǒng)要繼續(xù)運行，直到恢復規(guī)定的潔凈級別為止，開機運行時間一般不短于該GMP車間的自凈時間。

7、溫濕度要求：十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

8、配電：潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。