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    激光脈沖沉積裝置報價多重優惠,沈陽鵬程公司

    發布時間:2020-12-09 11:54  

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    脈沖激光沉積的優點

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    1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性;

    2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻;

    3. 工藝參數任意調節,對靶材的種類沒有限制;

    4. 發展潛力巨大,具有極大的兼容性;

    5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。



    脈沖激光沉積系統特點及優勢

    可根據客戶需求定制產品,靈活性高,并提供專業的技術支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關手續, 交貨期短,性價比高;

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    脈沖激光沉積的原理

    脈沖激光沉積原理:在真空環境下利用脈沖激光對靶材表面進行轟擊,利用激光產生的局域熱量將靶材物質轟擊出來,再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。

    脈沖激光沉積技術適合做的薄膜包括各種多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。

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