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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。25psi或更低)加上微熱(50~60°C)可使得液體從設備內部的微小氣道內蒸發。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。質量流量控制器即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。

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流量控制器如何測混合氣體的流量？

質量流量計是采用感熱式測量百，通過分體分子帶走熱量多少從而來測量流量，因為是用感度熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。

即氣體流過加熱元件時將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速問和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流專量。

此方法，日系發動機常用。

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流量控制器

質量流量控制器在正常工作時，流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的，簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業過程的流體介質流經傳感器的振動管，就會在振管上產生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。熱式質量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小。

流量控制器的具體內容

1.提高開表率在儀表設備管理中，開表率的定義是：(儀表總臺數一未正常使用的儀表臺數)/儀表總臺數。因此，提高開表率就是要減少無法投入正常使用的儀表。

2.節省費用這里所說的費用除了儀表購置費之外，還應計入附件購置費、安裝調試費、運行費、備品備件費、維護和定期校準(檢定)費，而質量流量控制器的平均壽命攤入的折舊費也不是可忽視的。

3.提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。工業爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的流量儀表如果不可靠，容易為調節系統發出錯誤信息，導致調節系統失調，破壞生產過程的穩定，影響產品的質量、產量和物耗，造成損失。可以看出，流量儀表的可靠性是較為重要的。質量流量計組態靈活，功能強大,性能價格比高，是新一代流量儀表。

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