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由于半導體技術對操作室的清潔度要求極高，通常使用鼓風機技術中揮發的各種廢氣，因此半導體行業的廢氣排出具有排出量大、排出濃度小的特點。這些廢氣排放主要分為酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體4種。酸堿廢氣主要來自擴散、CVD、CMP、蝕刻等工序，這些工序用酸堿清洗液清洗晶片。目前，半導體制造技術中常用的清洗溶劑是和硫酸混合劑。這些工序產生的廢氣包括硫酸 、鹽酸、磷酸等揮發氣，堿性氣體為氨。

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在木材加工行業，揮發性有機化合物排放主要由人造板制造。人造板生產使用的原料包括木材類原料和非木材類的一年生和多年生植物纖維原料，這種原料是構成人造板的主要原料，還包括將纖維質原料重組復合粘合在一起形成人造板材的粘合材料-粘合劑，以及為人造板材的性能不同而添加的各種輔助材料木材加工企業常用的有尿素(樹脂)、酚醛(樹脂)、甲醛、、苯系物等。

堅持源頭收集、過程控制和終端管理并重的方法，對VOCs減排企業的VOCs排放量進行估算和實測，自主開發先進的VOCs管理技術，廣泛應用于化工、印刷、涂裝、電子、塑料、橡膠、涂料、制藥、汽車、石油等行業的有機廢氣處理，凈化效率遠遠超過。通過分析行業常見的廢氣源收集問題，如下不重視氣流組織，系統風阻大，能源消耗大的國內生產設備的制造與環境保護設備脫節，

VOCs在線監控系統利用互聯網技術、無線通信技術，對工業VOCs進行24小時在線監控、分析、統計和運輸服務全過程管理，為環境保護局和企業提供真實的VOCs濃度狀況。合理的模塊化設計，根據業務需求融合數據，實現監視、閉環運行、監視、管理、運輸一體化和SAAS模式。支持PC、手機、IPAD監視和第三方機構進行數據統計分析。VOCs預處理系統根據廢氣中粒子狀物的類型選擇不同的預處理方法:油性粒子狀物凈化:靜電吸附 資源回收大分子、高沸點化合物:淋浴吸收 靜電吸附焊煙等干性粉塵:粗過濾 靜電吸附易聚合化合物:焦炭、大粒子活性炭過濾。靜電吸附 自動清洗可確保系統凈化效率的穩定性。