50μm晶圓解鍵合機wafer debonder

50μm晶圓解鍵合機wafer debonder



50μm晶圓解鍵合機wafer debonder特點：
4”-8”/8”-12”晶圓適用，可應對薄晶圓的解鍵合。
解鍵合機智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
解鍵合機可對已鍵合晶圓進行自動校正。
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實現(xiàn)解鍵合（Wafer Debonding)。
晶圓解鍵合機配有高精度機械手，可自動撕除晶圓臨時鍵合所用到的膠膜。
解鍵合機可自動為晶圓貼覆切割膜。
可選配嵌入式紫外線照射模塊。
工控機+Windows系統(tǒng)。
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力。


wafer debonder_50μm晶圓解鍵合機規(guī)格參數(shù)：
晶圓尺寸                          4”-8”/8”-12”
支持基板                          玻璃
激光/UV/加熱器          可選
晶圓切割膜覆蓋          搭載
解鍵合機撕膜模塊          搭載
晶圓盒形式          兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他                           SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力


50μm晶圓解鍵合機wafer debonder相關產(chǎn)品：
衡鵬供應
超薄晶圓支持系統(tǒng)/超薄晶圓臨時解鍵合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/晶圓解鍵合/晶圓臨時解鍵合