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電子特氣管道系統氦檢漏方法

特氣系統氣體管道氦檢漏的順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內向檢漏法(噴氦法)采用管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣，外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

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電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定

1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統，內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗，合格后再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢，應充入高純氮氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。

氦質譜檢漏儀

真空檢漏的方法很多，氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統或容器中；

漏率（漏氣速率）：是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量；

1小可檢漏率：是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率；

檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態下能檢出的1小漏率；

反應時間：也稱響應時間，是指從檢漏方法開始實施（如噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間；

消除時間：是指從檢漏方法停止（如停止噴吹示漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間；

漏孔堵塞現象：指由于真空檢漏作業操作不當導致塵?；蛞后w堵塞漏孔，檢漏時似乎不漏氣，但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。

實驗室氣體管道設計要求

了解實驗室設計的都知道：實驗室的任何的設計都是有規格要求的，出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞，就不合格，就容易發生事故。特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項由于特種氣體產品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。實驗室的氣體的排放是非常重要的，如果說實驗室氣體管道設計不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴重的就會有生命危險。