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氦檢漏設(shè)備簡介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統(tǒng)、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過這些缺陷進入系統(tǒng)內(nèi)部，致使系統(tǒng)、容器或器件達不到預(yù)期的真空度，這種現(xiàn)象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復(fù)雜，無法用幾何尺寸表示，因此在真空技術(shù)中用漏率來表示漏孔的大小。漏率是指單位時間內(nèi)漏入系統(tǒng)的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術(shù)就是用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護

以下是深圳銳誠真空為您一起分享的內(nèi)容，深圳銳誠真空專業(yè)生產(chǎn)氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。

質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用，但是在長時間的使用過程中常常會出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩(wěn)定

1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風，降低環(huán)境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。

檢漏儀的維護保養(yǎng)常識及優(yōu)點

一、檢漏儀常規(guī)的維護：

適當?shù)木S護您的檢漏儀是非常必要的，具體步驟如下：

1、探頭清潔：利用附送的防護罩防止灰塵、油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。

2、拉下防護罩；

3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護罩；

4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔，嚴禁用像、、礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。

5、探頭更換：探頭終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關(guān)，因此較難預(yù)計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩(wěn)定時，應(yīng)更換探頭，具體探頭步驟是如下：

（1）確認本儀器處于關(guān)閉狀態(tài)

（2）逆時針旋下舊探頭

（3）順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。

二、檢漏儀的優(yōu)點

1、多種語言和計量單位選擇，可選中文界面。

2、180度 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點)的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)。

3、新的電子線路及信號處理設(shè)計。

4、可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程。

5、快速清氦和快速響應(yīng)。

6、測試口耐壓高，可實現(xiàn)大漏檢漏。

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真空法氦質(zhì)譜檢漏原理

真空法氦質(zhì)譜檢漏原理：

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實現(xiàn)漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

真空法檢漏有何優(yōu)點：真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以定位漏孔，能實現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法檢漏缺點：真空法的缺點是只能實現(xiàn)一個大氣壓差的漏率檢測，不能真實反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實泄漏狀態(tài)。

用途：真空法的檢測主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

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