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智能氣路系統(tǒng)功能模塊

根據(jù)不同研究方向需求不同，智能氣路系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)以下基本功能模塊：

氣體流量單獨(dú)控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接設(shè)定內(nèi)部質(zhì)量流量控制器（MFC）流量，設(shè)定范圍為2%-100%F.S.

電磁截止閥單獨(dú)控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關(guān)斷/開啟

自動(dòng)分段進(jìn)氣功能：按照客戶給出的流量設(shè)定值及時(shí)間長度自動(dòng)完成分段進(jìn)氣，客戶可針對流量實(shí)現(xiàn)二次編程，自動(dòng)進(jìn)氣

壓力報(bào)警和處理：配合壓力傳感器及電磁閥的聯(lián)動(dòng)，用戶可自定義設(shè)定壓差上限與下限，實(shí)現(xiàn)壓差上限下限報(bào)警或關(guān)斷功能，保護(hù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果和氣路系統(tǒng)

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氣體管路要求

壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門隔離，以方便對過濾裝置進(jìn)行維修。高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。

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