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    天津生物制藥凈化工程公司常用解決方案「多圖」

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    發(fā)布時間:2020-07-18 10:53  






    濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件

    濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年,在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括: 1、細(xì)菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。


    技術(shù)豎井如果說技術(shù)夾道(墻)往往不越層,則需要越層時即用技術(shù)

    技術(shù)豎井 如果說技術(shù)夾道(墻)往往不越層,則需要越層時即用技術(shù)豎井,并且經(jīng)常作為建筑結(jié)構(gòu)的一部分,具有性。 由于技術(shù)豎井把各層起來,為了防火,內(nèi)部管線安裝完成后,要在層間用耐火極限不低于樓板的材料封閉,檢修工作分層進行,檢修門必須設(shè)防火門。 不論技術(shù)夾層、技術(shù)夾道還是技術(shù)豎井,當(dāng)直接兼作風(fēng)道時,其內(nèi)表面必須按潔凈室的內(nèi)表面的要求處理。 機房位置 空調(diào)機房靠近要求送風(fēng)量大的潔凈室,力求風(fēng)管的線路。但從防止噪聲和振動來說又要求把潔凈室與機房隔開。


    凈化車間的這些常用設(shè)備也必須要了解


    1、10萬級凈化車間工作人員和進入潔凈室內(nèi)需先經(jīng)過緩沖間/風(fēng)淋室,物品只能從傳遞窗進入。

    2、進入10萬級凈化車間工程區(qū)之前先進入緩沖區(qū),緩沖區(qū)門安裝電子互鎖,更衣處放置潔凈儲衣柜,空氣清新機。

    3、在10萬級凈化車間工程局部需要達到10-1000級地方安裝垂直層流工作臺,層流罩(FFU),潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。測潔凈室潔凈度用激光塵埃粒子計數(shù)器。

    4、10萬級凈化車間工程進風(fēng)系統(tǒng)要安裝:新風(fēng)過濾箱,中央凈化空調(diào)(中央凈化空調(diào)要分為初效/中效/三個過濾段)末端有送風(fēng)口,有必要時還裝有凈化增壓箱。

    5、10萬級凈化車間回風(fēng)系統(tǒng)要安裝:回風(fēng)口,過濾初效器,中效回風(fēng)箱。 以上是建設(shè)10萬級凈化車間所需要的設(shè)備,凈化車間潔凈度的維護離不開這些設(shè)備,具體的還需要根據(jù)實際情況。





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