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氦質(zhì)譜檢漏儀

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氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。這種方法和前面的肥皂水檢漏方法實質(zhì)一樣，雖然成本低，但有明顯的缺點：檢漏用的水分容易進入系統(tǒng)，導(dǎo)致系統(tǒng)內(nèi)的材料受到腐蝕，同時高壓氣體也有可能對系統(tǒng)造成更大的損害，進行檢漏時勞動強度也很大，這樣就使維護檢修的成本上升。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質(zhì)譜檢漏方法

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氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。同時利用R22制冷劑的低蒸發(fā)溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中很常用的兩種方法。

氧撿漏介紹

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真空計檢漏　根據(jù)相對真空計（熱導(dǎo)真空計和電離真空計等）的讀數(shù)檢漏的方法。真空計的工作壓力范圍就是檢漏適用的壓力范圍。檢漏時在處噴吹示漏氣體氫、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。示漏氣體進入系統(tǒng)后會引起真空計讀數(shù)的突然變化。熱導(dǎo)真空計可檢漏率為10-3帕·升/秒的漏孔;電離真空計可檢漏率為10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。鹵素檢漏儀檢漏　圖2為鹵素檢漏儀的原理。鉑陽極筒和不銹鋼陰極筒構(gòu)成一個間熱式二極規(guī)管。當加熱絲將鉑陽極加熱到 1027～1223K時，鉑發(fā)出的正離子在負電場下到達陰極形成電流。對于容積大、放氣量大、漏率大的容器可采用反流檢漏法，即將被檢容器接在真空系統(tǒng)的擴散泵和機械泵之間，利用擴散泵的反流作用，使氦氣反流到質(zhì)譜室而進行檢漏。在鹵素氣體的催化作用下，正離子的發(fā)射急劇增加。鹵素檢漏儀就是利用這樣的效應(yīng)制成的。檢漏時將規(guī)管接到系統(tǒng)中，并將系統(tǒng)抽到9～2帕真空，有噴槍把鹵素氣體(常用氟利昂R12)噴向被檢零部件表面處，引起離子流值急劇增加處即是漏孔位置。或與此相反將高于大氣壓力的鹵素氣體壓入系統(tǒng)內(nèi)，探測槍在被檢零部件外表移動，鹵素氣體逸出處引起離子流值急劇增加，此處即為漏孔位置。用這種方法可檢漏率為10-3～10-4帕·升/秒的漏氣。氦質(zhì)譜檢漏　很常用的一種檢漏法。用氦氣作為示漏氣體，以磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計作為檢漏工具，工作原理與真空質(zhì)譜計相同，差別僅在于氦質(zhì)譜檢漏儀使用的磁場和加速電壓基本上是固定的，因為它只檢測氦離子。另外，為了提高離子流的輸出，適當犧牲分辨能力以降低對測量放大器的要求，所以這種檢漏儀具有結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、性能穩(wěn)定、操作方便等優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)如圖所示。氦質(zhì)譜檢漏儀的主要技術(shù)指標有：①靈敏度，又稱可檢漏率，單位為帕·米3/秒；②反應(yīng)時間與清除時間，單位為秒；③工作壓強與極限壓強，單位為帕。