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真空法氦質譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。噴吹法該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統對其抽真空并達到真空銜接與質譜管溝通，然后用噴槍向漏孔噴吹氦氣。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。

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氦質譜檢漏用氦氣的選擇

氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。(4)在空氣環境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。相對分子質量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，分子的質量為3.65×10-27kg，在標準狀態下的密度為0.1769kg/m3，臨界溫度為5.25K，臨界壓力為2.26×105Pa，1atm壓力下的沸點為4.214K，熔點為0.9K，三相點溫度為2.186K，三相點壓力為51.1×10-2Pa，在標準狀態下的熱導率為510.79J/(m·h·K)，在標準狀態下的定壓比熱為5233J/(kg·K)，在標準狀態下的動力粘度系數為1.86×10-5Pa·s，1L液氦氣化為標準狀態下的氦氣體積為700L。

國家標準規定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業用氦、純氦、高純氦三種。

1、工業用氦：氦含量≥99%，露1點≤43℃.

2、純氦分三級：優等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。

3、高純氦分為三級：優等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。

氦氣在氦質譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用，純度要求不高，一般選用工業用氦，即氦含量≥99%，露1點≤43℃。

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氦質譜檢漏儀的準確性

一，標準漏孔的自身要符合相關的質量要求。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散。例如，美國國家計量院NIST；中國國家計量院，或有資質的檢定機構；德國的DKD等。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質的第三方，進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。

二，標準漏孔要經常檢定、校準。建議每年進行一次校準。尤其是年泄漏率大的標準漏孔，更是要注意，經常校準。如果發現異常，要用外置漏孔校準。

氦質譜檢漏儀燈絲脆斷故障

檢漏技術在我國經濟中占有非常重要的地位，被廣泛應用于半導體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車等行業。

氦質譜檢漏法與泡檢漏法、壓強衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監測靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無毒性、無破壞性、質量輕等優點，是諸多檢漏法中有效的方法。

氦質譜檢漏儀在使用過程中，常見的故障就是燈絲脆斷，氦質譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因為純鎢絲高溫使用發生再結晶以后變得很脆，再受到沖擊或震動時極易斷裂。氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯能量，降低位錯移動的晶界阻抗，從而使位錯遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現象稱為“萊塑化效應”。該效應降低了氦質譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風險，錸濃度高時的塑化效應降低。