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氦檢漏設備簡介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過這些缺陷進入系統內部，致使系統、容器或器件達不到預期的真空度，這種現象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復雜，無法用幾何尺寸表示，因此在真空技術中用漏率來表示漏孔的大小。漏率是指單位時間內漏入系統的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。

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高壓開關檢漏——氦質譜檢漏儀

高壓電器行業提出的《生產63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產品符合技術條件和安全性。高壓開關設備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質，產品要求開關內部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏，高壓電器采用的氦質譜檢漏儀的氦質譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認同。

鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發生泄漏和誤檢，使總裝后的產品氣密性達不到要求，導致返工，不但浪費了人力物力，也耽擱了生產周期。由于采用了氦質譜檢漏儀彌補了傳統檢漏的不做，同時可以檢漏漏點和漏率。

氦質譜檢漏儀的檢漏方法根據被檢工件的情況而定的：

1.對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦，同時觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。

2.對于體積較大的工件，采用背壓發，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統抽至5Pa以下，關掉抽氣閥，打開檢漏閥，進行檢漏。漏率超過值即為不合格。

3.對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數值超過規定值即為有漏。

安徽諾益科技有限公司是一家專業從事氦質譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統的研發、生產及銷售為一體的專業型高科技企業。自成立以來嚴格執行產品國際標準、及行業標準，應用現代經營理念與管理手段，擁有強大的技術支持和先進的生產與檢測設備，精心制造出穩定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產品。

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氦質譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現意外情況，系統突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發生了脆斷現象。

氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

檢漏儀的保養注意事項

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。

3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。

6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發現問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。