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氦質譜檢漏儀

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氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。這種方法和前面的肥皂水檢漏方法實質一樣，雖然成本低，但有明顯的缺點：檢漏用的水分容易進入系統，導致系統內的材料受到腐蝕，同時高壓氣體也有可能對系統造成更大的損害，進行檢漏時勞動強度也很大，這樣就使維護檢修的成本上升。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質譜檢漏方法

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氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中很常用的兩種方法。

氧撿漏介紹

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真空計檢漏　根據相對真空計（熱導真空計和電離真空計等）的讀數檢漏的方法。真空計的工作壓力范圍就是檢漏適用的壓力范圍。檢漏時在處噴吹示漏氣體氫、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。示漏氣體進入系統后會引起真空計讀數的突然變化。熱導真空計可檢漏率為10-3帕·升/秒的漏孔;電離真空計可檢漏率為10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。鹵素檢漏儀檢漏　圖2為鹵素檢漏儀的原理。鉑陽極筒和不銹鋼陰極筒構成一個間熱式二極規管。當加熱絲將鉑陽極加熱到 1027～1223K時，鉑發出的正離子在負電場下到達陰極形成電流。對于容積大、放氣量大、漏率大的容器可采用反流檢漏法，即將被檢容器接在真空系統的擴散泵和機械泵之間，利用擴散泵的反流作用，使氦氣反流到質譜室而進行檢漏。在鹵素氣體的催化作用下，正離子的發射急劇增加。鹵素檢漏儀就是利用這樣的效應制成的。檢漏時將規管接到系統中，并將系統抽到9～2帕真空，有噴槍把鹵素氣體(常用氟利昂R12)噴向被檢零部件表面處，引起離子流值急劇增加處即是漏孔位置。或與此相反將高于大氣壓力的鹵素氣體壓入系統內，探測槍在被檢零部件外表移動，鹵素氣體逸出處引起離子流值急劇增加，此處即為漏孔位置。用這種方法可檢漏率為10-3～10-4帕·升/秒的漏氣。氦質譜檢漏　很常用的一種檢漏法。用氦氣作為示漏氣體，以磁偏轉質譜計作為檢漏工具，工作原理與真空質譜計相同，差別僅在于氦質譜檢漏儀使用的磁場和加速電壓基本上是固定的，因為它只檢測氦離子。另外，為了提高離子流的輸出，適當犧牲分辨能力以降低對測量放大器的要求，所以這種檢漏儀具有結構簡單、靈敏度高、性能穩定、操作方便等優點。氦質譜檢漏儀的結構如圖所示。氦質譜檢漏儀的主要技術指標有：①靈敏度，又稱可檢漏率，單位為帕·米3/秒；②反應時間與清除時間，單位為秒；③工作壓強與極限壓強，單位為帕。