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    內(nèi)蒙古真空鍍膜系統(tǒng)報(bào)價(jià)推薦 艾明坷

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    發(fā)布時(shí)間:2020-07-19 13:54  






    CT系列鍍膜機(jī)

    CT(Custamued workstation)系列鍍膜機(jī)系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨(dú)設(shè)計(jì),滿足您的特殊需要。

    特點(diǎn):1、按需開(kāi)發(fā),量身定制。

    2、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。

    3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選

    4、可集成手套箱系統(tǒng)

    5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用

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    薄膜均勻性概念

    1.厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見(jiàn)光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說(shuō)對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來(lái)說(shuō),真空鍍膜沒(méi)有任何障礙。此外,雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定,但溫度高,它將成為對(duì)溫度很敏感。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說(shuō)要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整,具體控制因素下面會(huì)根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。

    2.化學(xué)組分上的均勻性: 就是說(shuō)在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過(guò)程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。本公司專業(yè)從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)隊(duì)伍為您解決設(shè)備在使用過(guò)程中遇到的任何問(wèn)題。 具體因素也在下面給出。

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    蒸發(fā)鍍膜

    一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。厚度均勻性主要取決于:

    1、基片材料與靶材的晶格匹配程度

    2、基片表面溫度

    3、蒸發(fā)功率,速率

    4. 真空度

    5. 鍍膜時(shí)間,厚度大小

    組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對(duì)于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

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