愛德華真空泵組維修小型真空系統

渦旋真空泵的主要性能表征參數

5.1.1間隙大小

   間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設計精度、加工精度和

裝配精度進行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以

由式((2.11)計算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽氣速率

   理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉速和是否是雙側渦旋共同決定的一

個反映抽氣性能的參數，也叫幾何抽速。假設轉速為n(轉/秒)，并且該禍旋泵

為雙側渦旋，那么Sth可表達為下式:

                     S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分別為轉子和定子所形成的外層完整內壓縮腔和外層完整外壓

縮腔的容積。、

   實際抽速是指泵實際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄

漏，其實際抽速S要低于理論抽速Sth，設P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，

Q。為總泄漏，則〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

則實際抽速為

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3極限壓力

   渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉，在測試罩內所能達

到的穩定時的低壓力，用P。表示。此時泵的實際抽速S=O，令式((5.3)中的實際

抽速S=O，即可得極限壓力〔10)

(5.4)

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。iH干泵系列的峰值抽速從80到1800立方米/小時，其中iH1800干泵是專為高排量應用而設計的。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：

粉末

許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。惠州市明勝機電設備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養服務（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環式等真空泵維修保養）以及各類進口真空泵配件耗材。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。

冷凝

半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們與EUV平版印刷OEM和光源OEM合作開發了精密真空系統，可為您進行的大型投資提供可靠性。我們的泵設計 具有可選的溫度設定點和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設定點上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。