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真空法氦質譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由*近檢漏儀處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。

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氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦質譜檢漏的應用氦質譜檢漏常用的操作方法板式換熱器的體積及換熱面積較大，如果單依靠氦質譜檢漏儀抽取真空，其不能滿足檢漏口真空度的要求，這樣需要另接抽真空機組。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質譜檢漏儀燈絲脆斷故障

鎢錸絲具有高熔點，高強度、高硬度、高塑性、高的再結晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉變溫度等優點。噴氦法檢漏中應該注意以下幾個問題：1、實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于噴槍所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發脆斷，在有氫氣存在的情況下，會加速碳化。

氦質譜檢漏儀待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。在檢漏過程中，當出現意外情況，系統突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發生了脆斷現象。

氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。在進行吸入法和鐘罩法時，采用氦氣與氮氣的混合氣進行檢測，能使氦氣的使用成本下降70%-80%。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

氦質譜檢漏儀主要部件---真空泵的概述與分類

真空泵(vacuum pump)

利用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統，廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、、航天等部門。

按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。

氣體輸送泵包括：1、液環真空泵(水環真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等

氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。

目前工業中應用較多的是水環式真空泵和旋片式真空泵等。

W型往復式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結晶，干燥，過濾，蒸發等工藝過程中更為適宜。

2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。

XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )